プラズマシステムでの不良に関連する構成要素の識別

Identifying components associated with fault in plasma system

Abstract

SOLUTION: A method for identifying a faulty component in a plasma tool is described. The method includes accessing a measurement of a parameter received from a frequency generator and measurement device. The measurement is generated based on a plurality of radio frequency (RF) signals that are provided to a portion of a plasma tool. The RF signals have one or more ranges of frequencies. The method further includes determining whether the parameter indicates an error, which indicates a fault in the portion of the plasma tool. The method includes identifying limits of the frequencies in which the error occurs and identifying based on the limits of the frequencies in which the error occurs one or more components of the portion of the plasma tool creating the error.SELECTED DRAWING: Figure 1
【解決手段】プラズマツール内の不良構成要素を識別するための方法が述べられる。この方法は、周波数発生器および測定デバイスから受信されるパラメータの測定結果にアクセスするステップを含む。測定結果は、プラズマツールの一部分に提供される複数の高周波(RF)信号に基づいて生成される。RF信号は、1つ以上の周波数範囲を有する。この方法は、さらに、パラメータがエラーを示すかどうか判断するステップを含み、このエラーは、プラズマツールの上記部分での不良を示す。この方法は、エラーが生じる周波数の限度を識別するステップと、エラーが生じる周波数の限度に基づいて、エラーを引き起こすプラズマツールの部分の1つ以上の構成要素を識別するステップとを含む。 【選択図】図1
【解決手段】プラズマツール内の不良構成要素を識別するための方法が述べられる。この方法は、周波数発生器および測定デバイスから受信されるパラメータの測定結果にアクセスするステップを含む。測定結果は、プラズマツールの一部分に提供される複数の高周波(RF)信号に基づいて生成される。RF信号は、1つ以上の周波数範囲を有する。この方法は、さらに、パラメータがエラーを示すかどうか判断するステップを含み、このエラーは、プラズマツールの上記部分での不良を示す。この方法は、エラーが生じる周波数の限度を識別するステップと、エラーが生じる周波数の限度に基づいて、エラーを引き起こすプラズマツールの部分の1つ以上の構成要素を識別するステップとを含む。【選択図】図1

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