Acceleration sensor and vibration monitoring system

加速度センサおよび振動モニタリングシステム

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an acceleration sensor capable of measuring lower acceleration than ever before while achieving miniaturization, and a vibration monitoring system.SOLUTION: An acceleration sensor A1 includes: a stationary part 1 including a storage space 10; a movable part 2 which is stored in the storage space 10 and which is movable relatively to the stationary part 1; a detection part 3 for detecting a physical quantity correlating to a travel distance of the movable part 2 with respect to the stationary part 1; and a damping force generation body 4 which is made of an incompressible viscous fluid and which is filled in the storage space 10.SELECTED DRAWING: Figure 1
【課題】 小型化を図りつつ、より低加速度の計測が可能である加速度センサおよび振動モニタリングシステムを提供すること。 【解決手段】 収容空間10を有する固定部1と、収容空間10に収容され、且つ固定部1に対して相対動可能な可動部2と、固定部1に対する可動部2の移動量に相関する物理量を検出する検出部3と、を備える加速度センサA1であって、収容空間10に充填された非圧縮の粘性流体からなる減衰力発生体4を備える。 【選択図】 図1

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