検査装置

Inspection apparatus

Abstract

【課題】 試料の検査領域全面で均一な検査を行うことのできる検査装置を提供する。 【解決手段】 検査装置は、ステージ上の試料に対して一次ビームを照射する一次光学系と、一次ビームを試料に照射することにより試料から発生した二次ビームの像を生成する二次元センサを含む検出器と、二次ビームを二次元センサに導く2次光学系を備える。一次光学系は、ガウス分布のレーザー光を発生するレーザー光源1701と、ガウス分布のレーザー光を均一分布のレーザー光に強度分布変換するホモジナイザー1703と、均一分布のレーザー光が照射されることにより一次ビームを発生する光電面1702を備える。 【選択図】 図17
【課題】 試料の検査領域全面で均一な検査を行うことのできる検査装置を提供する。【解決手段】 検査装置は、ステージ上の試料に対して一次ビームを照射する一次光学系と、一次ビームを試料に照射することにより試料から発生した二次ビームの像を生成する二次元センサを含む検出器と、二次ビームを二次元センサに導く2次光学系を備える。一次光学系は、ガウス分布のレーザー光を発生するレーザー光源1701と、ガウス分布のレーザー光を均一分布のレーザー光に強度分布変換するホモジナイザー1703と、均一分布のレーザー光が照射されることにより一次ビームを発生する光電面1702を備える。【選択図】 図17
PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an inspection apparatus which allows for uniform inspection on the whole inspection region of a sample.SOLUTION: An inspection apparatus includes a primary optical system for irradiating a sample on a stage with a primary beam, a detector including a two-dimensional sensor generating an image of a secondary beam generated from the sample by irradiating the sample with the primary beam, and a secondary optical system for introducing the secondary beam to the two-dimensional sensor. The primary optical system includes a laser light source 1701 generating laser light of Gaussian distribution, a homogenizer 1703 performing intensity distribution conversion of the laser light of Gaussian distribution into the laser light of uniform distribution, and a photoelectric surface 1702 generating a primary beam when irradiated with the laser light of uniform distribution.SELECTED DRAWING: Figure 17

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